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公开/公告号CN1269600A
专利类型发明专利
公开/公告日2000-10-11
原文格式PDF
申请/专利权人 日本电气株式会社;
申请/专利号CN00105771.5
发明设计人 浜田昌幸;
申请日2000-04-06
分类号H01L21/027;
代理机构11021 中科专利商标代理有限责任公司;
代理人朱海波
地址 日本东京都
入库时间 2023-12-17 13:46:10
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2004-07-14
发明专利申请公布后的视为撤回
2000-10-11
公开
2000-08-16
实质审查请求的生效
机译: 改进的对准标记图案和覆盖精度测量图案以及形成该图案的方法
机译: 对准图案形成方法和掩模对准精度测量方法
机译: 对准标记,对准标记形成方法和图案形成方法
机译:单图案和自对准双图案中的新对准标记设计
机译:使用旋转对准标记有效地对准旋转图案几何图形的多层
机译:使用旋转对准标记,以便有效地对准旋转图案几何形状的多层
机译:优化对齐/重叠采样和标记布局,以提高双重图案技术的重叠性能
机译:最小重叠图案中置换Sn和交替置换An中的模式匹配统计量
机译:使用一种新的单独对准方法改进听觉皮质的概率性细胞建筑图案
机译:XRaYL:从重叠粉末图案生成理想粉末衍射线轮廓的程序