光刻机工件台同步运动误差校正控制系统

摘要

本发明是一种光刻机工件台同步运动误差校正控制系统，该系统包括工控机、硅片台、掩模台、第一位置传感器、第二位置传感器、第一检测单元、第二检测单元、第一运算单元、第二运算单元、第三运算单元和第四运算单元，主要用于步进扫描光刻机中实现硅片台与掩模台同步运动误差校正。该系统采用负反馈与前馈控制相结合的同步误差复合校正控制方法，由速度环和位置环组成双闭环调速及位置控制。外环位置传感作为反馈装置，输出位置反馈信号给位置控制器。内环速度传感作为反馈装置，输出速度反馈信号给速度控制器。位置控制器根据位置反馈信号，计算并校正硅片台与掩模台同步误差。