采用晶态硅薄膜阻光层的液晶光阀及其制造方法

摘要

一种液晶光阀，其特点是采用晶态硅薄膜作为阻光层(8)，解决了晶格失配问题。而且该阻光层与非晶态硅薄膜光导层(9)形成异质结，从而在更大范围内改善了液晶光阀的分辨率、对比度等性能。一种液晶光阀的制造方法，其特征是非晶硅薄膜光导层(9)和晶态硅薄膜阻光层(8)采用辉光放电等离子体化学气相沉积法在同一反应室内制备，从而可保证获得良好的异质结。因此，可获得性能优良的液晶光阀。