法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2012-10-10
授权
授权
2011-08-10
实质审查的生效 IPC(主分类):C30B 29/28 申请日:20101231
实质审查的生效
2011-06-29
公开
公开
机译: 制造表面发射半导体激光元件的方法,晶体生长设备,使用它们制造表面发射半导体激光元件,使用表面发射半导体激光元件的光传输模块,光学和光传输的光学系统
机译: 制造表面发射半导体激光元件的方法,晶体生长装置,使用它们制造的表面发射半导体激光元件以及光发射器模块,光发射器-接收器模块以及光通信系统
机译: 激光晶体化装置,掩模,激光晶体化方法,晶体材料和半导体元件