用于减少损坏基板背侧的基板支撑件

摘要

提供了基板支撑件和配备所述基板支撑件的处理腔室的实施方式。在一些实施方式中，基板支撑件包括：支撑主体，具有第一表面；一个或多个插孔，延伸穿过第一表面并且进入支撑主体；和一个或多个突起，分别设置在一个或多个插孔中的对应插孔内并且从第一表面突出，其中一个或多个突起在第一表面上方至少部分地限定大体上平坦的支撑表面。还公开了消除背侧晶片损坏的方法。