电极具有空隙层的体声波谐振器及制造方法、滤波器及电子设备

摘要

本发明涉及一种体声波谐振器及其制造方法。所述谐振器包括：基底；底电极；顶电极；和压电层，设置在底电极与顶电极之间，其中：底电极为间隙电极，所述间隙电极具有空隙层，在所述间隙电极的厚度方向上，所述空隙层与所述间隙电极的顶面与底面均存在距离，所述空隙层形成所述谐振器的声学镜空腔或者所述空隙层内设置有声学镜结构；所述基底设置有至少一个电连接通孔，所述通孔一端连接到所述底电极，另一端适于连接到位于基底的下侧的焊盘。本发明还涉及一种具有上述谐振器的滤波器以及具有该滤波器或谐振器的电子设备。