集成启动管和采样管的低压超结DMOS结构及制备方法

摘要

本发明公开了集成启动管和采样管的低压超结DMOS结构及制备方法。所述低压超结DMOS结构包括主MOS管、启动MOS管、采样MOS管和多晶电阻；主MOS管的漏极、采样MOS管的漏极与启动MOS管的漏极连接在一起，主MOS管的栅极与采样MOS管的栅极连接，启动MOS管的栅极经所述多晶电阻与启动MOS管的漏极连接，各MOS管的源极经接触孔与有源区金属相连并接零电位，各MOS管之间设置隔离结构，隔离结构通过深槽形成。本发明将采样、启动功能和功率DMOS集成，提高电路的集成度，降低电路中启动损耗和电流采样损耗，从而降低待机功耗，提高能源转换效率。