承载晶圆料盒的治具、晶圆料盒装置及装载晶圆的方法

摘要

本申请公开了一种承载晶圆料盒的治具、晶圆料盒装置及装载晶圆的方法。承载晶圆料盒的治具包括：楔形载台，楔形载台的倾斜面上设置有凹槽，凹槽的底部包括镂空区和非镂空区，非镂空区用于承载框架的边缘，以使得框架的至少部分位于凹槽内；升降托举组件，包括驱动件和与驱动件连接的托举手臂，托举手臂在驱动件的作用下从凹槽的镂空区作用于对应位置处的晶圆承载区内的晶圆，以使得晶圆与相邻的其他晶圆位置错开，晶圆表面的刻号露出。本申请提供的承载晶圆料盒的治具，能够利用托举手臂将晶圆升起，使其刻号露出，省去人工夹持晶圆的操作，减少因夹持造成的晶圆损伤，而且方便读取刻号、核对刻号。