先进光刻胶工艺质量评估方法及系统

摘要

本发明公开了一种先进光刻胶工艺质量评估方法及系统，所述先进光刻胶工艺质量评估系统包括图像获取模块、轮廓提取模块、粗糙度计算模块、拟合模块、特征分析模块和质量评估模块，所述图像获取模块、所述轮廓提取模块、所述粗糙度计算模块、所述拟合模块、所述特征分析模块和所述质量评估模块依次连接，对获取的光刻胶进行光刻，得到电子束显微图像；根据所述电子束显微图像，提取所述光刻胶边缘轮廓，同时计算出边缘粗糙度和宽度粗糙度；利用拟合函数计算功率谱密度曲线，并得到拟合参数，并计算所有所述电子束显微图像的特征参数，根据所述光刻胶的特征值，建立光刻胶质量评估表，能够筛选最佳的光刻胶产品。