一种压阻式柔性三维力传感器阵列及其制备方法

摘要

本发明公开了一种压阻式柔性三维力传感器阵列及其制备方法，压力敏感层设置于柔性电极层上表面，力分解与封装层设置于压力敏感层上表面；力分解与封装层上表面具有呈阵列分布的凸起状结构；压力敏感层包括压力敏感单元和柔性绝缘填充物，压力敏感层在每个凸起状结构受力后的应力敏感部位下方的对应位置设有N(N≥3)个压力敏感单元，压力敏感单元设置于柔性电极层上表面，柔性绝缘填充物填充于力分解与封装层与柔性电极层之间；柔性电极层包括柔性基底和设置于柔性基底上的电极，每个压力敏感单元与柔性基底之间均设有一对电极，电极上连接有电极引出线。本发明能够进一步提高传感器的柔性且能够减小各压力敏感单元之间的串扰。