MEMS振动式陀螺仪结构及其制造方法

摘要

本发明公开了一种MEMS振动式陀螺仪及其制造方法，属于MEMS陀螺仪传感器设计和加工领域，其技术方案要点是包括盖板硅片、结构硅片和衬底硅片，盖板硅片、结构硅片和衬底硅片自上而下逐层布置组成带有真空腔体的结构，所述结构硅片上安装有器件，所述器件包括两个质量块、四个驱动框、四个检测框、若干弹性连接梁和锚点，本发明的优点在于采用真空键合的方法实现了对器件的真空封装，方法简单且高效，提高了器件成品率，降低了器件制备的成本，适用于批量生产，生产的陀螺仪可有效抑制误差，提高器件的精度和性能。