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张林欣; 王俊铎; 沈文江;
中国科学技术大学纳米技术与纳米仿生学院 安徽合肥230026;
中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所纳米器件与应用重点实验室 江苏苏州215123;
微机电系统(MEMS)陀螺仪; 静电调修; 圆盘结构; 阳极键合;
机译:具有可调静电弹簧常数的,在大气中工作的缝隙结构MEMS陀螺仪
机译:非线性对静电MEMS速率积分陀螺仪角漂移误差的影响
机译:解耦双质量MEMS陀螺仪中用于正交误差的静电刚度校正
机译:具有静电可调结构的MEMS陀螺仪的驱动模式控制
机译:具有静电驱动和压电传感器的两轴MEMS陀螺仪
机译:具有差分隧道磁阻传感结构的基于MEMS的陀螺仪的设计分析和仿真
机译:利用自然启发计算对mEms陀螺仪进行静电调节的硬件平台
机译:基于使用开环和闭环频率响应的演化计算的mEms陀螺仪调谐的硬件平台
机译:基于使用陀螺仪传感器和/或MEMS角速度传感器(MEMS陀螺仪)的系统的应用来确定车轮对准的方法和系统
机译:基于微机械陀螺仪形成测试冲击运动质量的方法,用于调节微机械陀螺仪的共振频率悬浮运动质量的方法,确定该悬架相移的方法以及对微机械陀螺仪的正确操作进行连续测试的方法,电极产生微机械陀螺仪和微机械陀螺仪(可选)的测试IMPACT移动质量的结构,实现了该方法和电极结构
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