利用多束粒子显微镜对3D样本成像的方法

摘要

本发明披露了一种利用多束粒子显微镜对3D样本成像的快速方法。该方法包括以下步骤：提供该3D样本的层；确定包括在所述层中的特征的特征大小；基于所述层中的所确定的特征大小来确定像素大小；基于所确定的像素大小来确定所述层中的各个束之间的束间距大小；以及基于所确定的像素大小并且基于所确定的束间距大小，利用该多束粒子显微镜的设置对该3D样本的所述层成像。