法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-05-11
授权
授权
2015-11-11
实质审查的生效 IPC(主分类):H01J37/26 申请日:20130912
实质审查的生效
2014-03-26
公开
公开
机译: 形成配线的张力的方法,带电粒子束棱镜的制造方法,观察方法,使用带电粒子束的干涉图案的电子显微镜及电子显微镜中的干涉条纹的形成方法
机译: 张力线的形成方法,带电粒子束棱镜及其制造方法,带电粒子束的干涉条纹,电子显微镜的观察方法以及电子显微镜中的干涉条纹的形成方法
机译: 在带电粒子显微镜中研究动态样本行为