一种真空磁控溅射制备热喷涂用包覆型复合粉末的方法

摘要

本发明提供一种真空磁控溅射制备热喷涂用包覆型复合粉末的方法，首先将一定粒度的芯核粉末放置于真空室内的样品台上，然后选择特定的溅射靶材作为包覆的壳层材料，并置于溅射靶架上，关闭真空室；分别打开机械泵和分子泵进行抽真空，并向真空室充入氩气；启动样品台高频振动装置，使样品台的粉末颗粒充分地均匀分散，并对粉末进行加热；打开溅射靶电源，选择功率和溅射时间等工艺参数进行溅射包覆，从而完成包覆型复合粉末的制备。相对于热喷涂粉末的其他包覆技术，真空磁控溅射包覆具有包覆层均匀连续、致密且附着力强、包覆层和芯核材料可选种类多以及包覆工艺环保无污染等显著的优势。