高熵合金/WC硬质层纳米多层薄膜、其制备方法及应用

摘要

本发明公开了一种高熵合金/WC硬质层纳米多层薄膜、其制备方法及应用。所述高熵合金/WC硬质层纳米多层薄膜包括在其厚度方向上交替层叠的VAlTiCrCu高熵合金层和WC硬质层，其包含按照原子百分含量计算的如下元素：V 5～10％、Al 5～10％、Ti 5～10％、Cr 10～20％、Cu 10～20％、C 15～25％及W 20～35％。所述制备方法包括：采用磁控溅射技术，以磁控溅射复合靶和WC整体靶为阴极靶材，以保护性气体为工作气体，对基体施加负偏压，在基体表面沉积得到高熵合金/WC硬质层纳米多层薄膜。本发明的高熵合金/WC硬质层纳米多层薄膜具有高硬度、优异的耐磨损及磨蚀性能，可用于海水环境下的基体防护。