从含H2SiF6的刻蚀废酸中回收氢氟酸的方法

摘要

本发明涉及从含H2SiF6的刻蚀废酸中回收氢氟酸的方法，H2SiF6氨解制备NH4F，对NH4F进行热酸解制备HF，生成的HF受热气化并被收集。通过本发明的方法能够在刻蚀废液中提取和回收HF。进一步的，通过本发明方法提取HF具有提取纯度高、提取率高、工艺能耗少，产物可循环使用等优点，具有突出的经济效益、社会效益以及生态效益。