一种从刻蚀废酸中回收高纯度硝酸和氢氟酸的方法

摘要

本发明提出一种从刻蚀废酸中回收高纯度硝酸和氢氟酸的方法，通过分段蒸馏、酸清洗、浓硫酸干燥等综合工艺，使废酸中的HF/H2SiF6/HNO3成分得以有效分离，形成高纯度的氢氟酸、硝酸、硅氟酸溶液。本发明药剂消耗小，无二次排放，副产品价值高。