一种温度传感器液体环境晶圆级测试方法

摘要

本发明实施例公开了一种温度传感器液体环境晶圆级测试方法，所述温度传感器液体环境晶圆级测试装置包括测试仪、安装有多个探针的探针卡、用于承载待测试温度传感器晶圆的台盘、以及存贮有绝缘导热油的容器，所述测试仪通过导线与探针的端部连接，所述探针与待测试温度传感器晶圆相对应，所述的探针、待测试温度传感器晶圆和台盘浸没在绝缘导热油中。本发明实施例提供的温度传感器液体环境晶圆级测试装置，通过选用本申请的探针卡能够将探针卡上的多个探针与单次所需测试芯片数量一一对应，一次测试多颗传感器，提高测试效率，减少时间。