一种晶圆抬取装置由其组成的晶圆分离装盒机及方法

摘要

本发明涉及一种晶圆抬取装置由其组成的晶圆分离装盒机及方法，晶圆抬取装置包括固定于垂直板上的驱动机构，垂直板上设有导轨Ⅰ、以及沿导轨Ⅰ上下滑动连接的滑板Ⅱ，驱动机构带动滑板Ⅱ沿导轨Ⅰ上下滑动，滑板Ⅱ一端设有转停装置以及与转停装置转动连接的吸盘。晶圆分离装盒机包括底柜、设置于底柜上的控制装置、以及与控制装置电性连接的：晶圆送料装置、横向位移装置、晶圆抬取装置、晶圆装运装置、晶圆摆放装置。本发明可以将叠加在一起的晶圆自动分离成单个晶圆进行摆放，自动化程度高，提高了生产效率。