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公开/公告号CN111295735A
专利类型发明专利
公开/公告日2020-06-16
原文格式PDF
申请/专利权人 国际商业机器公司;
申请/专利号CN201880071004.5
发明设计人 M·M·福兰克;
申请日2018-11-05
分类号
代理机构北京市金杜律师事务所;
代理人酆迅
地址 美国纽约阿芒克
入库时间 2023-12-17 10:08:05
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-07-10
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/02 申请日:20181105
实质审查的生效
2020-06-16
公开
机译: 氧化铪和氧化锆的铁电器件,具有纹理铱底电极
机译: 具有氧化铱底电极的基于氧化devices和氧化锆的铁电器件
机译: 氧化铱底电极的氧化和氧化锆基铁电器件
机译:氧化铟和氧化铟锡氧化物通道铁电栅极薄膜晶体管,具有钇掺杂的二氧化铪 - 二氧化锆栅极绝缘体,由化学溶液方法制备
机译:具有高度织构化的α-氧化铝中间层的氧化物陶瓷层压板:I.织构控制和层压板形成
机译:通过溅射和化学溶液沉积氧化物通道铁电栅晶体管应用沉积的氧化铪 - 二氧化锆膜中铁电性的热稳定性
机译:氧化锆的铁电性和结晶度,铪亚硝酸铪氧化锆(HZO)通过原子层沉积与且没有后退火的原子层沉积制备的超薄膜
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