一种半导体芯片字符表面缺陷管脚缺陷检测光源

摘要

本发明提出一种半导体芯片字符表面缺陷管脚缺陷检测光源，包括第一光学组件、第二光学组件和散光板；第一光学组件后端安装有散光板，前端和第二光学组件连接；第一光学组件包括方形光源壳和贴片LED灯，方形光源壳内侧安装有贴片LED灯；第二光学组件包括第一双排LED光源盖、第一双排LED光源、偏光膜、双排LED光源盖偏光夹紧圈、第二双排LED光源盖、转接头和第二双排LED光源；转接头、第二双排LED光源盖、第一双排LED光源盖依次连接；转接头内部嵌有第二双排LED光源；第一双排LED光源盖内部安装有第一双排LED光源、偏光膜和双排LED光源盖偏光夹紧圈。这种光源解决了旧版本三个光源在同轨道叠加问题，在兼容其他多种检测产品情况下达到理想效果，满足检测标准。