公开/公告号CN111365431A
专利类型发明专利
公开/公告日2020-07-03
原文格式PDF
申请/专利权人 宁波龙昇自动化设备科技有限公司;深圳市菲格斯机电设备有限公司;
申请/专利号CN202010305460.0
申请日2020-04-17
分类号
代理机构宁波慈恒专利代理事务所(特殊普通合伙);
代理人刘世勇
地址 315200 浙江省宁波市镇海区九龙湖镇清音巷81号4幢
入库时间 2023-12-17 09:59:34
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-07-28
实质审查的生效 IPC(主分类):F16H25/20 申请日:20200417
实质审查的生效
2020-07-03
公开
公开
机译: 用于测试沉积工艺的掩模组件,包括该掩模组件的沉积设备以及使用该掩模组件的用于沉积工艺的测试方法
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