面向特定检查的辅助系统、面向特定检查的辅助方法和程序

摘要

提高使用电子显微镜的特定检查的精度，提高作业效率。系统根据检查试样的属性信息确定与检查对象物对应的检查配方信息，通过按照该检查配方信息的控制程序由测量装置取得的图像数据以及元素分析数据与成为检查对象物的评价基准的基准图像数据以及基准元素分析数据的对照，进行检查试样的检查对象物的分析评价。