光纤式光电探测器、探测系统、测试系统及制备方法

摘要

本发明公开了光纤式光电探测器、探测系统、测试系统及制备方法。其中，光纤式光电探测器包括光纤和探针；探针设置在光纤的第一端；探针在其第一端端面和第二端端面之间形成了法布里‑珀罗干涉腔；探针为一维半导体材料制成；所述探针与光纤平行，探针第一端的端面与光纤第一端端面相对应，使探针法布里‑珀罗干涉腔与光纤进行耦合。本申请，通过信号光对探测光的调制，实现对外部光的探测；有效的避免了暗电流对器件造成的影响；同时极大的提升了探测器的响应时间，具有亚毫秒快速响应的特点；探测器结构简单、制作容易、材料低廉；使用探针来进行探测，探针的直径比光纤小，使该探测器可以探测任何探头可以到达位置的光。