公开/公告号CN111176079A
专利类型发明专利
公开/公告日2020-05-19
原文格式PDF
申请/专利权人 ASML荷兰有限公司;
申请/专利号CN202010106860.9
申请日2015-04-24
分类号
代理机构北京市金杜律师事务所;
代理人王茂华
地址 荷兰维德霍温
入库时间 2023-12-17 09:46:46
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-06-12
实质审查的生效 IPC(主分类):G03F7/20 申请日:20150424
实质审查的生效
2020-05-19
公开
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