具有外部竖直电互连系统的压力传感器

摘要

本发明涉及具有外部竖直电互连系统的压力传感器。提供了一种压力传感器组件，所述压力传感器组件包括支撑衬底、安装到支撑衬底的电路、安装到支撑衬底并与电路电连通的至少一个导体、以及连接到所述至少一个导体并与所述至少一个导体电连通的至少一个竖直导电路径。压力传感器组件还包括隔膜、连接到隔膜和支撑衬底的至少一个密封玻璃部段、以及安装到隔膜的至少一个横向导电馈通。至少一个导电接头连接到竖直导电路径和横向导电馈通，并且导电接头在竖直导电路径和横向导电馈通之间提供电连通。