法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-06-12
实质审查的生效 IPC(主分类):F03H1/00 申请日:20181109
实质审查的生效
2020-05-19
公开
公开
机译: 电推力器,一种停止包括在该推力器中的电子引擎的方法以及一种包括该推力器的卫星
机译: 通过微波等离子体增强化学气相沉积来制造合成金刚石材料的方法,该微波等离子体来自微波发生器和与生长表面积相对设置的进气口
机译: 用于空间等离子体增强原子层沉积的微波等离子体源(PE-ALD)加工工具