三氯硅烷制造装置以及三氯硅烷的制造方法

摘要

本发明的目的为防止由在过滤器元件(80)部分产生的盐酸所引起的腐蚀及应力腐蚀破裂。三氯硅烷制造装置(1)包括生成三氯硅烷的反应装置(2)、以及去除反应残渣的过滤器装置(3)，并且所述过滤器装置(3)具备由耐腐蚀性材料构成的过滤器元件。