三氯硅烷制造装置及三氯硅烷的制造方法

摘要

本发明涉及三氯硅烷制造装置及其制造方法。具体而言，本发明的三氯硅烷制造装置在分解炉(2)内设有加热分解炉(2)的内部的加热装置(8)、沿分解炉(2)的上下方向将聚合物和氯化氢引导至内底部并从下端开口部(3a)供给至分解炉(2)内的原料供给管(3)、从形成于原料供给管(3)的外周面和分解炉(2)的内周面之间的反应室(13)的上部导出反应气体的气体导出管(4)，在原料供给管(3)的外周面或分解炉(2)的内周面的至少一者上一体地形成有翅片(14)，该翅片在反应室(13)内一边搅拌从原料供给管(3)的下端开口部(3a)供给的聚合物和氯化氢的混合流体一边引导其上升。