激光成像法切割pi网板的装置及其方法

摘要

本发明涉及激光成像法切割pi网板的装置及方法，包含用于夹持网板的工装载台和紫外超短脉冲激光器，紫外超短脉冲激光器的输出光路上依次布置有扩束镜、分光镜单元、光罩板和反射镜组，反射镜组的反射光路衔接振镜，振镜的输出端布置扫描场镜，扫描场镜的投射端正对于工装载台。采用超短脉冲紫外激光，利用一组两片分光镜分光匀光，激光通过光罩板成像在pi表面去除pi以及胶层，对成像光斑做了匀光处理，pi的切割面锥度显著减小，同时具备多组不同大小的成像光罩板，使加工光斑大小可选择，振镜扫描结合平台直线运动组合方式进行材料加工，显著提高加工精度和效率。