一种薄膜铂电阻温度传感器及其制造方法

摘要

本发明公开了一种薄膜铂电阻温度传感器的制造方法，包括在双面抛光的蓝宝石晶片表面制备铂薄膜、均匀化处理、刻蚀、激光调阻、制备氧化铝膜层、裂片、引线焊接、包封玻璃浆料、烧结等步骤；本发明的技术效果在于，采用了薄膜铂电阻温度传感器的制造方法，与传统的陶瓷铂电阻元件和厚膜铂电阻元件相比，采用本技术可以降低生产成本，提高生产效率，减小了产品外形尺寸，测量时的响应时间短，产品的一致性有充分的保障。与国内厂商采用薄膜方法制备的同类薄膜电阻元件相比，采用本技术可以大幅度提高测温范围，阻值精度高，具有更好的长期稳定性等优点。