一种极紫外光掩模的缺陷修复方法

摘要

本发明提供了一种极紫外光掩模的缺陷修复方法，包括以下步骤：步骤10：提供一基底，在所述基底上形成图形化的极紫外光刻胶层，其中，图形化的极紫外光刻胶层具有极紫外光刻胶连桥缺陷和/或极紫外光刻胶断裂缺陷；以及步骤20：对图形化的所述极紫外光刻胶层多次执行极紫外光刻胶修复工艺，所述极紫外光刻胶修复工艺用于修复所述极紫外光刻胶连桥缺陷和/或极紫外光刻胶断裂缺陷。本发明通过对图形化的所述极紫外光刻胶层多次执行极紫外光刻胶修复工艺，以消除图形化的极紫外光刻胶层中可能出现的极紫外光刻胶连桥缺陷和/或极紫外光刻胶断裂缺陷，从而提高极紫外光掩模工艺后的产品良率。