一种极紫外光掩模衍射近场计算模型的建立方法、装置及电子设备

摘要

本发明公开一种极紫外光掩模衍射近场计算模型的建立方法、装置及电子设备，涉及微电子技术领域。所述极紫外光掩模衍射近场计算模型的建立方法，包括：获取预设个数的掩模版图对应的衍射矩阵数据库；基于所述掩模版图对应的衍射矩阵数据库对每个所述掩模版图进行切割分类处理，得到多个种类的特征图形；基于每个种类的所述特征图形，确定相应具备掩模衍射近场特性的卷积核；根据所述卷积核确定测试版图对应的近场数据，完成所述极紫外光掩模衍射近场计算模型的建立，此模型针对极紫外光刻掩模衍射近场训练出一套有效的卷积核，并且可以适用于任何的入射光角度，同时还能保持与机器学习方法同一量级的计算精度但是耗费时间成本大幅度降低。