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一种掩模版制版用夹具装置的研制

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介绍了一种掩模版制版用夹具装置,该装置具有准确的定位功能,能够自动补偿片厚误差,可进行真空复印使母掩模版与子掩模版紧密贴附,操作方便等特点.

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来源
《电子工业专用设备》|2010年第11期|49-51|共3页
作者
李玉敏;
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作者单位

中国电子科技集团公司第四十五研究所,北京,101601;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类制造工艺及设备;
关键词
制版; 定位; 片厚补偿; 真空复印;
入库时间 2023-07-25 14:29:24

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