一种晶圆背面的检测方法、检测设备及其应用

摘要

本发明提供一种晶圆背面的检测方法、检测设备及其应用，其中，检测设备包括晶圆背面检测装置、边缘区域吸盘及中心区域吸盘；晶圆背面检测装置位于晶圆背面下方与晶圆平行设置；边缘区域吸盘用于吸附晶圆背面边缘区域，并显露晶圆背面中心区域；中心区域吸盘用于吸附晶圆背面中心区域，且中心区域吸盘的水平截面不大于晶圆背面中心区域。晶圆背面的检测方法通过边缘区域吸盘、中心区域吸盘分别吸附晶圆背面的边缘区域及中心区域，并通过晶圆背面检测装置检测晶圆背面边缘区域及中心区域的形貌。可获得晶圆背面的具体形貌，准确的判断晶圆背面的杂质的位置及大小，降低生产成本、提高生产效率、节约人力资源及提高产品质量。