一种基于非对称周期表面等离激元晶格共振的压力传感器件

摘要

本发明涉及一种基于非对称周期的表面等离激元晶格共振的压力传感器，包括下层PDMS基板以及位于所述上层PDMS基板上方的纳米结构单元阵列，所述纳米结构单元由从上往下依次设置的顶部金属脊、中间介质层和底部金属脊紧贴叠加构成；其中，在平行于下层PDMS基板的平面内，所述纳米结构单元沿x方向的阵列周期参数Lx和沿y方向的阵列周期参数Ly互不相同。外界压力会作用于下层PDMS基板，从而引起表面等离激元共振波长的改变，将压力信号转为光学信号来检测。本发明的光学器件结构具有很高的品质因数，可实现对微小形变压力的精准检测，同时，对结构尺寸的限制更少，传感的应用范围更广泛。