一种基于表面等离激元共振腔的纳米光学压力传感器

摘要

一种基于表面等离激元共振腔的纳米光学压力传感器。该传感器由“∏”字型表面等离激元共振腔和表面等离激元波导耦合构成。入射激光在波导中激发表面等离激元，当入射光的波长与“∏”字型表面等离激元共振腔的共振波长匹配时，可以将表面等离激元的能量耦合进入“∏”字型表面等离激元共振腔。通过测量表面等离激元波导的光强就可以测量出“∏”字型表面等离激元共振腔的共振波长。由于“∏”字型表面等离激元共振腔的共振波长会在外加压力下改变，因此可以测量出外加的压力。由于表面等离激元的波长远远小于光波，所以“∏”字型表面等离激元共振腔的尺寸可以做到1μm以下。