一种分级多孔结构金属氧化物的制作方法及金属氧化物半导体气体传感器

摘要

一种分级多孔结构金属氧化物的制作方法及金属氧化物半导体气体传感器，其中方法包括：将获取的蝴蝶翅膀用去离子水冲洗；将冲洗后的蝴蝶翅膀通过稀盐酸进行第一次浸泡，然后通过稀氢氧化钠溶液进行第二次浸泡；将浸泡后的蝴蝶翅膀用去离子水再次冲洗，并在空气中晾至半干；将晾至半干的蝴蝶翅膀平铺浸入含有金属离子络合物的溶胶凝胶中并进行第三次浸泡，将表面吸附了金属离子的蝴蝶翅膀取出并经过干燥处理后得到被金属离子包覆的蝴蝶翅膀，即分级多孔结构金属氧化物。本发明不仅省去了人工合成模板的繁琐步骤，节约原材料，节省制备周期，降低实验设备要求和损耗；而且降低了实验设备要求，有效节省了材料，降低了损耗，减少了器件制造成本。