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金属氧化物半导体SO2气体传感器的研究现状

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摘要

介绍了气敏机理,总结了近年来国内外基于金属氧化物半导体的SO2气敏材料的研究现状,指出了基于金属氧化物半导体SO2气体传感器的不足之处,提出设计复合材料、优化合成方法是提高SO2气敏材料敏感特性的研究方向.

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来源
《传感器与微系统》 |2021年第2期|1-3,11|共4页
作者
刘航; 王秋晨; 于兰伊; 王林康;
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作者单位

吉林建筑大学电气与计算机学院吉林长春130118;

吉林建筑大学电气与计算机学院吉林长春130118;

吉林建筑大学电气与计算机学院吉林长春130118;

吉林建筑大学电气与计算机学院吉林长春130118;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类 TP212.2;
关键词
SO2传感器; 金属氧化物半导体; 复合材料;

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