具有感光性介电层和结构化导电层的部件承载件

摘要

描述了部件承载件，包括：(a)包括至少一种部件承载件材料的层堆叠体；以及(b)形成在层堆叠体的顶部上的感光性介电层结构。感光性介电层结构具有在竖向上延伸穿过感光性介电层结构的至少一个凹部。上述至少一个凹部是通过使在由形成于感光性介电层结构上的导电层结构的空间图案限定的区域中的感光性介电层结构部分地移除而形成的。空间图案包括形成在导电层结构内的开口。还描述了用于制造这种部件承载件的方法。