公开/公告号CN110651356A
专利类型发明专利
公开/公告日2020-01-03
原文格式PDF
申请/专利权人 株式会社荏原制作所;
申请/专利号CN201880030306.8
申请日2018-05-02
分类号
代理机构上海华诚知识产权代理有限公司;
代理人肖华
地址 日本国东京都大田区羽田旭町11番1号
入库时间 2023-12-17 06:55:54
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-02-18
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/304 申请日:20180502
实质审查的生效
2020-01-03
公开
公开
机译: 基板清洗方法,基板清洗装置以及计算机可读取的记录介质
机译: 基板处理装置的维护方法,半导体装置的制造方法,基板处理装置以及能够读取基板处理装置的维护程序的存储介质
机译: 基板处理装置的维护方法,半导体装置的制造方法,基板处理装置,以及具有基板处理装置的读取维护程序的存储介质。