用于平面表面之间的粘附力测量的方法和设备

摘要

用于测量平面表面之间的粘附力的方法和设备包括力测量仪和具有平面表面的基材接触部件，所述平面表面具有至少一个开口或凹陷的通道，其与真空源流体连通。所述设备和具有平面表面的基材相对于彼此在第一位置、第二位置和第三位置之间移动，以确定基材接触部件的平面表面与基材的平面表面之间的粘附力。