基体表面微颗粒粘附力测量方法的专利技术

摘要

随着科技发展日新月异,各种行业新兴的精密设备也层出不穷,但是无处不在的微颗粒使得精密设备的性能受到严重影响,同时也无时无刻不在影响着人们的健康,目前关于微颗粒的课题研究(粘附、清除/洁)逐渐受到重视,而进行微颗粒清除/洁的前提与根本是获取微颗粒在基体上的粘附力与阐明其在基体上的粘附机理。为此,本文从专利技术角度简要介绍微颗粒粘附力研究的发展历程、相关机理,随后基于现有专利梳理了微颗粒粘附力测量方法专利技术的相关研究及技术成果,最后对该技术领域的国内外的专利分布情况及申请趋势进行了统计和分析,以期为我国微颗粒粘附力测量方法与装置的研究提供参考与帮助。