一种微电子设备的电磁特性表征检测装置

摘要

本发明公开了一种微电子设备的电磁特性表征检测装置，涉及微电子技术领域；为了解决微电子磁力检测效率低的问题；具体包括主机箱，所述主机箱的顶部与底部之间开设有安装凹槽，所述主机箱的两侧内壁之间的两端位置均通过轴承套接有水平设置的转动中轴，两个所述转动中轴的圆周外壁之间套接有同一个水平设置的传送带，所述主机箱的顶部一端通过螺栓连接有竖直设置的检测机箱。本发明，在检测器的整体上使用了传送带进行传送，操作人员可以直接将微电子设备放置在传送带的一端进行移动，经过检测机箱即可进行检测，检测机箱的顶部内壁通过电动推杆一安装有检测顶板，便于整体的调节，且流水线的检测方式可以加快检测的速度。