一种超精密大口径非球面轮廓测量机及其测量方法

摘要

本发明公开了一种超精密大口径非球面轮廓测量机及其测量方法，解决了现有技术中非球面轮廓测量精度不高的问题。本发明包括机架，机架下部设有X轴位移装置，X轴位移装置上设有气浮转台，机架上部设有Z轴位移装置和配重机构，配重机构与Z轴位移装置相连接，且Z轴位移装置与气浮转台相对应。本发明采用极坐标测量方式，XZ轴直线运动配合转台圆周运动，利用高精度测头接触被测工件，快速采集数据，以实现对较大口径的非球面工件（600mm）形状精度和平面工件的轮廓测量，这种测量方式简单易于操作，避免了多维操作测量的误差累积，提高测量精度。