非接触輪郭形状測定機「MLP-2」の機能と測定方法

摘要

近年，情報端末機器や医療分野などにおいて製品の小形化·高精度化が求められており，数mm以下の機械要素の開発が進められている。 その中でマイクロツールやマイクロギアのニーズは多く，さまざまな製作方法が検討されているが，測定方法に関しては顕微鏡や投影機による歯先端面の計測しかできず，また接触式測定機ではプローブ径や接触圧の問題から測定できないのが現状である。 これらの問題に対し，レーザプローブ方式を用いた非接触輪郭形状測定機「MLP-2」を開発した。 レーザプローブ方式は当社三次元測定装置「NHシリーズ」で長年利用している方式で，非接触方式の中で形状の追従性にもっとも優れており，80°斜面の計測も可能である。 MLP-2ではこのレーザプローブユニットを小形化することでさまざまなワークの形状測定を実現した。 本稿では装置の測定原理や特長，測定方法について紹介する。