公开/公告号CN110716372A
专利类型发明专利
公开/公告日2020-01-21
原文格式PDF
申请/专利权人 深圳光峰科技股份有限公司;
申请/专利号CN201810765447.6
申请日2018-07-12
分类号G03B21/14(20060101);
代理机构44334 深圳市赛恩倍吉知识产权代理有限公司;
代理人唐芳芳
地址 518055 广东省深圳市南山区粤海街道学府路63号高新区联合总部大厦20-22楼
入库时间 2023-12-17 05:18:29
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-01-21
公开
公开
机译: DMD调整装置和调整系统以及多DMD光机械系统
机译: DMD曝光光学系统中工作阶段和DMD的DMD对准方法
机译: DMD曝光光学系统中工作阶段和DMD的DMD对准方法