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公开/公告号CN110858535A
专利类型发明专利
公开/公告日2020-03-03
原文格式PDF
申请/专利权人 天津大学;
申请/专利号CN201810967575.9
发明设计人 侯峰;王磊;郭文磊;
申请日2018-08-23
分类号
代理机构天津创智天诚知识产权代理事务所(普通合伙);
代理人王秀奎
地址 300072 天津市南开区卫津路92号
入库时间 2023-12-17 06:30:06
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-03-27
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/02 申请日:20180823
实质审查的生效
2020-03-03
公开
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