一种La2O3-WO3氧化物半导体丙酮气体传感器及其制备方法

摘要

一种La2O3-WO3氧化物半导体丙酮气体传感器及其制备方法，属于气体传感器技术领域。由正面带有2个分立的L形金电极的Al2O3绝缘陶瓷板、涂覆在Al2O3绝缘陶瓷板正面和L形金电极上的半导体敏感材料、Al2O3绝缘陶瓷板背面带有的氧化钌加热层、在氧化钌加热层上设置的2个分立的矩形金电极组成；半导体敏感材料为La2O3-WO3氧化物半导体，厚度为10～30μm，该敏感材料是采用静电纺丝技术制备得到，经煅烧、涂覆、热压在2个L形金电极和Al2O3绝缘陶瓷板的正面。本发明所得到的传感器除了具有较高的灵敏度外，还具有较快的响应速度和较好的重复性。该传感器的检测下限为0.8ppm，可用于室内环境中丙酮气体含量的检测。